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更新時(shí)間:2025-10-24
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在石墨烯、碳納米管、鈣鈦礦、MAX相等先進(jìn)功能材料的CVD制備中,溫度均勻性、氣氛純凈度、升降溫靈活性是成敗關(guān)鍵。藍(lán)景科技陶瓷纖維管式馬弗爐專為CVD工藝優(yōu)化,提供高純石英/陶瓷管+多路氣氛系統(tǒng)+真空兼容的一站式解決方案。

工藝適配能力:
?? 可選高純氣煉石英管或剛玉陶瓷管,耐高溫、抗腐蝕,避免金屬污染;
?? 標(biāo)配/選配多路混氣系統(tǒng)(質(zhì)量流量計(jì)精度±1%),精準(zhǔn)控制Ar/H?/N?/C?H?等氣體比例;
?? 可連接真空泵+數(shù)顯真空計(jì),實(shí)現(xiàn)10?1 Pa-級(jí)真空環(huán)境,滿足高純材料生長(zhǎng)需求;
?? 輕質(zhì)陶瓷纖維蓄熱低,降溫速率快,縮短批次間隔,提升設(shè)備利用率。
某新材料企業(yè)利用該設(shè)備開(kāi)發(fā)高導(dǎo)熱氮化硼薄膜,通過(guò)兩溫區(qū)控溫實(shí)現(xiàn)前驅(qū)體裂解與沉積分離,產(chǎn)品熱導(dǎo)率達(dá)600 W/m·K,成功應(yīng)用于5G芯片散熱。
藍(lán)景科技陶瓷纖維管式馬弗爐,為新材料研發(fā)按下“加速鍵"。